機器・施設のご紹介

ハード基盤である「PHOENICS」の装置ラインナップ

円二色性分散計
全自動元素分析装置  
超高感度示差走査熱量計 
近赤外分光蛍光光度計
フロー粒子画像分析装置 
比表面物性測定装置 
位相差顕微鏡観察システム
薄膜測定型ゼータ電位測定システム
超高圧液体クロマトグラフ
ウルトラミクロトー厶システム 
ガスクロマトグラフ
有機蒸着装置
マグネトロンスパッタリング
ミストCVD装置
蒸着機連携型グローブボックス
インクジェット成膜実験装置
大気圧プラズマ洗浄装置
ナノインプリンター
高流量超純水製造システム
スピンドライヤー
マイクロフォーカスX線CTスキャン
熱機械分析装置(TMA)
冷熱衝撃試験機
振動モード解析装置
ソーラーシミュレータ
有機EL I-V-L 測定装置 
イオン化ポテンシャル測定装置
絶対量子収率測定装置
レーザーラマン分光光度計
走査プローブ顕微鏡
半導体パラメータアナライザ
高出力型試料水平X線回折装置
電界放射型走査型電子顕微鏡
走査イオン顕微鏡
ガス質量分析計
大規模解析システム

有機薄膜センターの機器

 本センターには、材料探索から、分子素子開発・評価、デバイス作成・評価、プロセス技術、装置開発まで活用できる36機種を整備し、研究・開発に利用するとともに一般にも開放しています。ここでは、代表的な機器を紹介します。

図4. 有機蒸着機 エイコーエンジニアリング(株) EO−06 (1)成膜プロセス関連機器

成膜プロセス関連機器では、有機エレクトロルミネッセンス(EL)デバイスをグローブボックス連結により成膜から封止まで一貫して作製できる有機蒸着機(図4)、有機ELデバイスをウェットプロセスで成膜、金属配線、レジストができるインクジェット成膜機(図5)などを設置している。図6に、有機蒸着機で試作した有機EL照明デバイスを示す。
周辺機器としては、光取出しフィルムや金属パターンニングなどの機能性フィルム開発用のナノインプリンタ(図7)、透明電極や封止膜などの機能性薄膜開発用のマグネトロンスパッタリング(図8)も設置している。

図5. インクジェット成膜機 プレシード(株) 800ノズルタイプ

分析関連機器では、材料の表面観察が可能な走査プローブ顕微鏡(図9)や電界放射型走査型電子顕微鏡(図10)、材料の構造解析ができるレーザラマン分光光度計(図11)などを設置している。

装置開発関連機器では、装置及び部品の構造設計や動作解析が可能なマイクロフォーカスX線CTスキャン(図12)、温度制御化での引張、曲げ、剪断等部材の機械的特性を評価できる熱機械分析装置(図13)などを設置している。






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